压电薄膜传感器论文

压电螺旋弹簧传感器的灵敏度研究

一、压电盘簧换能器灵敏度研究（论文文献综述）章安良[1]（2019）在《基于声表面波介质辅助输运微流体》文中研究指明提出了介质辅助下压电基片上微流体输运新方法,以避免声表面波（...
AIN压电薄膜的研究进展

一、AIN压电薄膜研究进展（论文文献综述）仲云浩[1]（2021）在《基于压电薄膜传感器的合金化负极膨胀效应实时检测》文中提出锂离子电池在电动汽车,航空航天和智能化可穿戴设备中...
AlN薄膜的制备与刻蚀技术

一、AlN薄膜的制备与刻蚀工艺研究（论文文献综述）乌李瑛,瞿敏妮,沈赟靓,田苗,马玲,王英,程秀兰[1]（2021）在《等离子体增强原子层沉积制备压电AlN薄膜》文中提出采用等...